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节水降耗 “绿色”工艺实现电子研磨废水回用

来源:太原水处理设备公司发布时间:2021-10-09 12:09责任编辑:太原水处理工程师

  自90年代以来,全球电子行业蓬勃发展,中国的电子工业历经多年的改革开放,逐渐成为“世界电子产品制造业的加工厂”。目前国家大力发展晶圆厂,在晶棒、晶圆的制造过程中,切割、研磨、划片、减薄、化学研磨平坦化(CMP)等工艺后的清洗过程中,均会产生研磨废水。

 

  研磨废水回收的难点在于废水中的颗粒物微小,采用传统的介质过滤没有办法去除。现有技术中一般采用混凝沉淀进行预处理,生化系统结合膜分离技术,去除有机物的同时利用膜孔径小的特点,对研磨废水中的微小颗粒进行截留,保证出水水质。

  针对研磨废水的水质特点,莱特莱德采用“混凝+沉淀+厌氧池+MBR”处理工艺,原水经过收集池沉淀后,污泥从污泥管道进入板框压滤机进行压滤,污水再回流至收集池。收集池出水后提升泵提升至调节池进入调节池,调节池具有调节进水水质和水量的作用,使后续单元进水水量和水质能尽可能均匀稳定。调节池中设置曝气系统,防止悬浮物过度沉积。经过调节池后污水依次流经初级沉淀池、MBR生物反应池。将污水中剩余有机污染物彻底分解为二氧化碳和水,氨氮转化为硝酸盐、亚硝酸盐,聚磷菌超量吸收磷,通过剩余污泥排放将磷从污水中去除。

  经过MBR生物反应单元后,污水中绝大部分污染物已经被去除,通过MBR的过滤作用,将微生物和其它悬浮物完全截留,实现泥水分离,透过清水由抽吸泵抽取达标排放。

  研磨废水为高浓度无机废水,废水呈碱性,如不经过合理的处理会对环境造成较大的危害。采用合理的处理工艺实现研磨废水达标排放,同时实现电子研磨废水回用对于缓解水资源短缺具有重要意义。

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