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电子级超纯水国家标准是什么?

来源:太原水处理公司发布时间:2013-07-18 17:33责任编辑:太原水处理工程师

  电子级超纯水分为多个标准,莱特莱德公司生产的超纯水设备出水符合美国ASTM纯水水质标准,我国电子工业部对超纯水设立了5个标准,分别为18.2兆欧、15兆欧、10兆欧、2兆欧、0.5兆欧。还有我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水标准、国内外大规模集成电路水质标准。

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