电子级超纯水国家标准是什么？

　　电子级超纯水分为多个标准，莱特莱德公司生产的超纯水设备出水符合美国ASTM纯水水质标准，我国电子工业部对超纯水设立了5个标准，分别为18.2兆欧、15兆欧、10兆欧、2兆欧、0.5兆欧。还有我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水标准、国内外大规模集成电路水质标准。