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超纯水设备让芯片生产无后顾之忧

来源:沈阳莱特莱德水处理工程发布时间:2021-08-13 12:48责任编辑:太原水处理工程师

  半导体产业主要包括芯片设计、芯片制造和封装测试三个部分。芯片制造又称晶圆制造,是通过物理、化学工艺步骤在晶圆表面形成器件,并生成金属导线将器件相互连接形成集成电路的过程。晶圆制造可分为前道工艺线(FEOL)和后道工艺线(BEOL)工艺,前道工艺是在晶圆上形成晶体管和其他器件,而后道工艺是形成金属线并在每层之前加上绝缘层。

  芯片制造过程特点为集成度高、生产线窄,对水质的要求非常高,传统超纯水制备工艺通常采用离子交换树脂进行,此工艺需要进行树脂再生,既耗费物力又耗费人工,莱特莱德经多年实践,结合膜分离技术,采用反渗透、EDI装置结合混床模块化设计工艺来制备超纯水,其出水电阻率可达18 MΩ*cm(25℃),符合芯片制造用水要求,为芯片成品品质提供了有效保障。

  芯片制造用超纯水设备优势

  1、系统采用水处理技术双级RO+EDI+混床模块化设计,设计标准严格,确保水质稳定,长效运行。

  2、确保系统短时间停机及长时间停机时水质保持稳定。保证终端出水恒压、水质稳定。

  3、采用PH调节系统以确保水温下降或原水PH值偏低时EDI出水水质。

  4、配备化学清洗系统,可定期对反渗透系统进行化学清洗,以确保系统稳定运行。

  电子半导体行业用超纯水设备是电子行业用水的重要设备之一,设备可以为电子行业提供所需的合格水质,促进了电子行业的持续稳定发展。